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Reliability testing and characterization of MEMS/MOEMS II : 27-29 January 2003 San Jose Californ
出版社：Bellingham, Wash. : SPIE, c2003.
ISBN：0819447803
出版年：2003
作者：Ramesham,Rajeshuni
资源类型：图书
细分类型：西文文献
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