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MOEMS and miniaturized systems III : 27-29 January 2003 San Jose California USA
出版社：Bellingham, Wash., USA : SPIE, c2003.
ISBN：0819447838
出版年：2003
作者：Smith,James H.
资源类型：图书
细分类型：西文文献
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  • 出版社：Bellingham, Wash. : SPIE, c2009.
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