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Chemical-Mechanical Planarization of Semiconductor Materials
EISBN：
9783662062340
PISBN：
9783540431817
出版社：
Springer Berlin Heidelberg
出版类型：
Monograph
出版时间：
2004
版次：
2004
作者：
M.R. Oliver
主题词：
Materials Science,Characterization and Evaluation of Materials,Electronics and Microelectronics,Instrumentation,Physical Chemistry,Surfaces and Interfaces,Thin Films,Optical and Electronic Materials
语种：
英语
所属数据库：
SpringerLink电子图书(1815-2004)
丛书题名：
Springer Series in Materials Science
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出版时间：
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