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Nanoparticle Engineering for Chemical-Mechanical Planarization
EISBN：9781000023220
PISBN：9781420059113
出版社：CRC Press
出版类型：ebook
出版时间：2019-04-15
作者：Paik,Ungyu;Park,Jea-Gun;
学科：O6 化学,O69 应用化学,TN4 微电子学、集成电路（IC）,TB3 工程材料学
语种：英语
所属数据库：易阅通电子书平台-国科大
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