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Integrated Modeling of Chemical Mechanical Planarization for Sub-Micron IC Fabrication
EISBN：
9783662079287
PISBN：
9783540223696
出版社：
Springer Berlin Heidelberg
出版类型：
Monograph
出版时间：
2004
版次：
2004
作者：
Jianfeng Luo,David A. Dornfeld
主题词：
Chemistry,Industrial Chemistry,Chemical Engineering,Surface and Interface Science,Thin Films,Circuits and Systems,Electronics and Microelectronics,Instrumentation,Surfaces and Interfaces,Thin Films,Physical Chemistry
语种：
英语
所属数据库：
SpringerLink电子图书(1815-2004)
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出版社：
Springer US
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9781402080418
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