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Chemical-Mechanical Polishing of Low Dielectric Constant Polymers and Organosilicate Glasses
EISBN：
9781461511656
PISBN：
9781402071935
出版社：
Springer US
出版类型：
Contributed volume
出版时间：
2002
版次：
2002
作者：
Christopher Lyle Borst,William N. Gill,Ronald J. Gutmann
主题词：
Engineering,Electrical Engineering,Theoretical and Computational Chemistry,Optical and Electronic Materials
语种：
英语
所属数据库：
SpringerLink电子图书(1815-2004)
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Christopher L. Borst,William N. Gill,Ronald J. Gutmann
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9781461511656
出版社：
Springer US
出版时间：
2002
Low Dielectric Constant Materials for IC Applications
作者：
Paul S. Ho,Jihperng Leu,Wei William Lee
EISBN：
9783642559082
出版社：
Springer Berlin Heidelberg
出版时间：
2003
Handbook of Low and High Dielectric Constant Materials and Their Applications
作者：
Hari Nalwa
PISBN：
9780125139052
出版时间：
Pre 2007
Low Dielectric Constant Materials for IC Applications
作者：
Paul S. Ho,Jihperng Jim Leu,Wei William Lee
EISBN：
9783642559082
出版社：
Springer Berlin Heidelberg
出版时间：
2003
Chemical-Mechanical Planarization of Semiconductor Materials
作者：
Michael R. Oliver
EISBN：
9783662062340
出版社：
Springer Berlin Heidelberg
出版时间：
2004
Nanoparticle Engineering for Chemical-Mechanical Planarization
作者：
Paik,Ungyu;Park,Jea-Gun;
EISBN：
9781000023220
出版社：
CRC Press
出版时间：
2019-04-15
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