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Chemical-Mechanical Planarization of Semiconductor Materials
EISBN：
9783662062340
PISBN：
9783642077388
出版社：
Springer Berlin Heidelberg
出版类型：
Monograph
出版时间：
2004
作者：
Michael R. Oliver
主题词：
Characterization and Evaluation of Materials,Electronics and Microelectronics,Instrumentation,Operating Procedures,Materials Treatment,Physical Chemistry,Surfaces and Interfaces,Thin Films,Optical and Electronic Materials
语种：
英语
所属数据库：
SpringerLink电子图书
丛书题名：
Springer Series in Materials Science
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Springer Berlin Heidelberg
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