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Reliability testing and characterization of MEMS/MOEMS : 22-24 October 2001 San Francisco Califo
出版社：Bellingham, Wash., USA : SPIE, c2001.
ISBN：0819442860
出版年：2001
作者：Reliability,Testing,and Characterization of MEMS and MOEMS Conference
资源类型：图书
细分类型：西文文献
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