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2009 IEEE 22nd International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) : Sorrento Italy
出版社：
Piscataway, N.J. : Institute of Electrical and Electronics Engineers, c2009.
ISBN：
9781424429776
出版年：
2009
作者：
IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems
资源类型：
图书
细分类型：
西文文献
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出版社：
Piscataway, N.J. : IEEE, 2016.
出版年：
2016
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