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2016 IEEE 29th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2016) : Shanghai
出版社：
Piscataway, N.J. : IEEE, 2016.
ISBN：
9781509006090
出版年：
2016
作者：
IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems
资源类型：
图书
细分类型：
西文文献
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0780359984
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Piscataway, N.J. : IEEE, c2001.
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2001
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