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MEMS-03 : IEEE the Sixteenth Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems : K
出版社：
Piscataway, N.J. : IEEE, c2003.
ISBN：
0780377443
出版年：
2003
作者：
IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems
资源类型：
图书
细分类型：
西文文献
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出版社：
Piscataway, N.J. : IEEE, c2014.
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