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2012 IEEE 25th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2012) : Paris Fra
出版社：
Piscataway, N.J. : Institute of Electrical and Electronics Engineers, c2012.
ISBN：
9781467303248
出版年：
2012
作者：
IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems
资源类型：
图书
细分类型：
西文文献
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出版年：
2017
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