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2019 IEEE 32nd International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2019) : Seoul Sou
出版社：
Piscataway, N.J. : IEEE, 2019.
ISBN：
9781728116112
出版年：
2019
作者：
IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems
资源类型：
图书
细分类型：
中文文献,西文文献
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IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems
ISBN：
9781424457618
出版社：
Piscataway, N.J. : Institute of Electrical and Electronics Engineers, c2010.
出版年：
2010
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