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Micro-electro-mechanical systems (MEMS) 1998 : presented at the 1998 International Mechanical Engine
出版社：
New York, N.Y. : American Society of Mechanical Engineers, c1998.
ISBN：
079181596X
出版年：
1997
作者：
Lin,Liwei.
资源类型：
图书
细分类型：
西文文献
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Micro electro mechanical systems (MEMS) : technology, fabrication processes, and applications
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Ekwall,Britt.
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出版社：
New York, N.Y. : ASME, c1998.
出版年：
1998
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