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Micro electro mechanical systems (MEMS) : technology fabrication processes and applications
出版社：
Hauppauge, N.Y. : Nova Science Publishers, c2010.
ISBN：
9781608764747
出版年：
2010
作者：
Ekwall,Britt.
资源类型：
图书
细分类型：
西文文献
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出版社：
Piscataway, N.J. : Institute of Electrical and Electronics Engineers, c2011.
出版年：
2011
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