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The 14th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems : MEMS 2001 Interlaken
出版社：
Piscataway, N.J. : IEEE, c2001.
ISBN：
0780359984
出版年：
2001
作者：
MEMS 2001
资源类型：
图书
细分类型：
西文文献
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出版社：
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出版年：
2011
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