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Metal Impurities in Silicon-Device Fabrication
EISBN：
9783642571213
PISBN：
9783642629655
出版社：
Springer Berlin Heidelberg
出版类型：
Monograph
出版时间：
2000
作者：
Klaus Graff
主题词：
Optical and Electronic Materials,Electronics and Microelectronics,Instrumentation,Characterization and Evaluation of Materials
语种：
英语
所属数据库：
SpringerLink电子图书
丛书题名：
Springer Series in Materials Science
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