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Ion Implantation: Basics to Device Fabrication
EISBN：
9781461522591
PISBN：
9780792395201
出版社：
Springer US
出版类型：
Contributed volume
出版时间：
1995
作者：
Emanuele Rimini
主题词：
Characterization and Evaluation of Materials,Inorganic Chemistry,Nuclear Physics,Heavy Ions,Hadrons
语种：
英语
所属数据库：
SpringerLink电子图书
丛书题名：
The Springer International Series in Engineering and Computer Science
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