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Metal Impurities in Silicon-Device Fabrication
EISBN：
9783642975936
PISBN：
9783540583172
出版社：
Springer Berlin Heidelberg
出版类型：
Monograph
出版时间：
1995
版次：
1995
作者：
Klaus Graff
主题词：
Materials Science,Surfaces and Interfaces,Thin Films,Electronics and Microelectronics,Instrumentation,Inorganic Chemistry
语种：
英语
所属数据库：
SpringerLink电子图书(1815-2004)
丛书题名：
Springer Series in Materials Science
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