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Chemical-Mechanical Polishing of Low Dielectric Constant Polymers and Organosilicate Glasses
EISBN：
9781461511656
PISBN：
9781402071935
出版社：
Springer US
出版类型：
Contributed volume
出版时间：
2002
作者：
Christopher L. Borst,William N. Gill,Ronald J. Gutmann
主题词：
Manufacturing,Machines,Tools,Electrical Engineering,Theoretical and Computational Chemistry,Optical and Electronic Materials
语种：
英语
所属数据库：
SpringerLink电子图书
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9781461511656
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Springer US
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2002
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作者：
Paul S. Ho,Jihperng Leu,Wei William Lee
EISBN：
9783642559082
出版社：
Springer Berlin Heidelberg
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2003
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PISBN：
9780125139052
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Paul S. Ho,Jihperng Jim Leu,Wei William Lee
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9783642559082
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Springer Berlin Heidelberg
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Springer Berlin Heidelberg
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出版时间：
2019-04-15
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