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Electron-beam X-ray and ion-beam technology : submicrometer lithographies IX : 7-8 March 1990 San
出版社：Bellingham, Wash., USA : SPIE, c1990.
ISBN：0819403105
出版年：1990
作者：Resnick,Douglas J.
资源类型：图书
细分类型：西文文献
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