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MEMS 2000 : the thirteenth annual international conference on micro electro mechanical systems.
出版社：
Piscataway : IEEE, 2000.
ISBN：
07803452742
出版年：
2000
作者：
IEEE Interenationsl Workshop on Micro Electro Mechanical Systems
资源类型：
图书
细分类型：
西文文献
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出版年：
2013
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