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Advances in chemical-mechanical polishing : symposium held April 13-15 2004 San Francisco Califor
出版社：
Warrendale, Pa. : Materials Research Society, c2004.
ISBN：
1558997660
出版年：
2004
作者：
Boning,Duane S.
资源类型：
图书
细分类型：
西文文献
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