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Chemical-mechanical polishing--fundamentals and changes : symposium held April 5-7 1999 San Franci
出版社：
Warrendale, Pa. : Materials Research Society, c2000.
ISBN：
1558994734
出版年：
2000
作者：
Babu,S.V.,
资源类型：
图书
细分类型：
西文文献
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Warrendale, Pa. : Materials Research Society, c2003.
出版年：
2003
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