《浸笔纳米光刻(DPN)及其衍生物的研制》

  • 来源专题:纳米科技
  • 编译者: 郭文姣
  • 发布时间:2019-04-14
  • Dip-pen nanolithography(DPN)是一种独特的纳米加工工具,可以在表面上直接写入各种分子图案,具有高分辨率和优异的配准。在过去的20年中,DPN在适用油墨,制造产量的显着提高以及各种衍生技术的发展方面经历了巨大的发展。在这些发展中,聚合物笔光刻(PPL)是最突出的一种,它为纳米加工提供了大规模,高通量,低成本的工具,显着扩展了DPN及其以外。这些发展不仅扩大了扫描探针光刻的广泛领域的范围,而且使DPN和PPL成为制造或研究纳米结构和纳米材料的一般方法。在本次审查中,提供了DPN及其衍生物技术发展的重点摘要和历史视角,重点是PPL,在一个时间表中,提出了该领域技术探索的未来机会。

    ——文章发布于2019年4月12日

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