《致力于泡泡笔光刻图案的纳米器件研究》

  • 来源专题:纳米科技
  • 编译者: chenfang
  • 发布时间:2015-12-31
  • 由德克萨斯大学奥斯汀分校的研究人员的研究得知,一种新的“泡沫笔”光刻技术可以用于模式胶体和生物颗粒固态基材中。该项技术的工作原理是利用激光控制的微泡来创建的图案,并将广泛应用于微电子、纳米光子学和纳米医学领域。

    光刻是当今使用微米和纳米尺度元件的半导体器件的主要技术之一。然而,问题是,这些方法具有固有的缺点。

    在德克萨斯州发明的新的泡沫笔光刻技术是使用一个单一的低功率的激光束在一个胶体悬浮颗粒和金属基体含有金属纳米粒子网络的界面产生微小气泡,是利用光通过局域表面等离子体(电子在金属表面的集体振荡)而使金属纳米粒子相互强烈的作用。通过捕获产生的微气泡,固定在基板上的胶体粒子以及通过引导激光束移动气泡,;利用不同大小和结构的胶体粒子研究人员可以创建不同的模式。

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