《美国Presto公司将欧洲的半导体测试质量标准升级到ISO 9001:2015》

  • 来源专题:半导体工艺技术
  • 编译者: shenxiang
  • 发布时间:2018-10-12
  • 美国加州圣何塞市普雷斯托工程公司(Presto.Inc.)向半导体和物联网(IoT)设备公司(包括为射频、模拟、混合信号和安全应用开发工业解决方案,从带出到成品交付)提供外包业务。在法国卡昂的工厂通过了ISO 9001:2015质量标准的认证,该厂是欧洲最大的独立半导体测试工厂。

    “我们拥有广泛而全面的半导体测试设备。这包括在每个阶段从晶片,通过模具,测试到最终包装设备,说:“凯恩网站主任Alban Colder博士说。“作为ISO 9001:2015质量标准的一部分,我们有一整套无损分析设备,如X光检查包装和粘合,超声波检查设备内部是否有分层、空隙和裂纹的硅。此外,还有通过光电发射或热激光刺激来检查故障定位的设备,以及深入的物理分析,即,逐层剥离一个设备,以便确切地看到它在哪里失效以及为什么失效。其它先进的设备,如原子力显微镜或扫描电子显微镜,用来显示芯片结构精确到几纳米的细节。

    Presto指出,半导体行业质量体系的关键部分是可追溯性。详细的记录保存跟踪每个晶片,每个操作,每个模具和每个测试,因此,如果现场有故障芯片,它可以追溯回去,试图确定原因,并查看是否有任何其他芯片受到影响,可能需要召回。在汽车召回的情况下,这可能非常昂贵,因此能够将问题缩小到仅受影响的芯片是至关重要的。

    销售副总裁马丁·金登(Martin Kingdon)说:“我们已经组装了一套最先进的设备,作为我们对质量和新标准的承诺的一部分。”“一旦客户向我们提供设计,覆盖芯片制造和测试过程的每个阶段,直至最终产品,我们就为客户提供全面的服务。作为我们对客户的质量保证的一部分,我们在每一个阶段都进行严格的测试。“在一个屋檐下进行如此全面的测试和失效分析能力是非常罕见的;通常需要多个不同的测试室,这意味着可能遗漏问题。把所有的技能和设备放在一起,意味着我们可以不断寻找,直到找到问题的原因,以便解决问题,并保持质量。”

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    • 来源专题:计量基标准与精密测量
    • 编译者:李晓萌
    • 发布时间:2024-05-08
    • 近日,芯片联合承诺(Chips Joint Undertaking,Chips JU)宣布成功评估提交的创新半导体试验线提案,并已开始与四个财团进行谈判,旨在今年晚些时候签署相关协议。这一举措有望促进该地区的创新,并加强欧洲在全球舞台上的技术领导力。 Chips JU已经选择了托管联盟,只要谈判成功,该联盟将实施四条试点线路中的每一条,并将获得用于设置、集成和流程开发以及运营活动的拨款。试点线路将由欧盟、地平线欧洲和数字欧洲计划、成员国和私人捐款共同资助。 Chips JU公共当局委员会主席Kari Leino强调:“这些试验线的选择标志着欧洲半导体行业的关键时刻,展示了欧洲国家推动技术创新的集体承诺。” 这些呼吁涉及“欧洲芯片倡议”的运营目标,这是《欧洲芯片法案》的第一个支柱。这一举措旨在加强技术能力建设,促进尖端芯片技术的大规模创新。Chips JU在促进这项投资的很大一部分,确保其在整个地区的成功和影响方面发挥着关键作用。 Chips JU执行董事Jari Kinaret对新试验线的授予表示欢迎,他表示:“这一决定对欧洲半导体行业来说是一个重要的里程碑,我们期待着这些试验线的实现。通过合作和创新,我们的目标是推动欧洲的进步和卓越。” 试验线将加速工艺开发、测试和实验以及设计概念的验证。它们的实施有望弥合从实验室到晶圆厂的差距,并将提供给包括学术界、工业界和研究机构在内的广泛用户。 在这一宣布之后,下一步包括与财团进行谈判,以最终确定托管协议、联合采购协议和相关赠款协议,标志着欧洲半导体生态系统新时代的开始。 四个半导体试点线分别为: ·欧洲超2nm领先芯片系统领先的试验线; ·FD-SOI导频线适用于具有非易失性嵌入式存储器、RF和3D集成的应用; ·高级异构系统集成试验线; ·宽禁带(WBG)引导线。 关于Chips JU: Chips JU支持欧洲半导体生态系统的研究、开发、创新和能力建设。它由欧盟理事会第2021/1085号条例发起,并于2023年9月通过理事会第2023/1782号条例进行修订,有助于加强半导体技术和工业基础的竞争力和韧性,吸引了近110亿欧元的欧盟、国家/地区和私营行业的大量资金。
  • 《德国联邦物理技术研究院(PTB)用世界上最高精度的光波纳米尺为半导体行业提供黄金标准的校准服务》

    • 编译者:张宇
    • 发布时间:2025-01-03
    • 近日,德国联邦物理技术研究院(PTB)的测量专家Gaoliang Dai,开发出了世界上最高精度的光波纳米尺,而纳米尺其中的一个典型应用就是 PTB 的计量原子力显微镜,它使用几乎跟原子体积一样细的尖端扫描表面。它对表面的原子力做出反应。尖端的移动是通过光的干涉来测量的,也就是回溯到光的波长,而光的波长又通过 PTB 的原子钟以最高的精度来确定。(这些原子钟不仅仅是时钟,也是波长或频率的标准。) PTB的计量学原子力显微镜在世界上是独一无二的:它的测量范围是传统设备的1000倍,测量速度是传统设备的10倍以上。其测量精度无与伦比:高度测量的测量不确定度为0.3nm,平均结构距离的测量不确定度高达15pm。这大约相当于晶圆上两个硅原子之间距离的一半或三分之一。该显微镜描绘了纳米世界的一切:每一个曲率,每一个粗糙度。这就是纳米世界美丽、多彩图像的创建方式。 当然,这种美丽本身并不是目的。“如果你不能测量它,你就无法管理它——据说经济学家彼得·德鲁克(Peter Drucker)是这么说的。在半导体行业尤其如此,“Gaoliang Dai高粱解释道。这位物理学家是PTB 3D纳米计量工作组的负责人,他解释说:晶体管离芯片越近,制造过程就越复杂。高科技芯片上的结构大小约为20纳米。这相当于大约40个原子的大小。超过50%的芯片制造步骤可能涉及复杂纳米结构的测量或表征。测量参数包括关键尺寸(CD)——尺寸和形状、薄膜厚度、表面和界面特性、物理特性、缺陷以及相关参数。它们有助于说明结构-功能关系。“为了保证产品质量,会不断进行大量的测量,” Gaoliang Dai说。 为此,在生产中使用了一系列不同的测量仪器,这些仪器基于不同的物理原理并相辅相成:光学、离子、电子、X射线和表面力方法。他们的结果流入一个计量数据库,然后通过数据融合或人工智能推导出监控和优化制造过程的措施。“然而,有一个基本问题,”Gaoliang Dai说:“这些测量结果也具有可比性吗?换句话说,所有设备测量的事物都完全相同吗?Gaoliang Dai通过使用计量学原子力显微镜和其他一些全球最精密的测量仪器来解答这个问题,制造这些仪器需要大量的物理知识,它们为工业生产提供支持。 纳米世界中的计量学远比我们日常生活中的要复杂得多。“精确的测量需要对物理学的深刻理解,而这远远超出了显而易见的范畴,” Gaoliang Dai解释说。例如,计量可以通过测量针尖的尺寸以及针尖与测量对象之间的复杂相互作用进而对计量学发展产生显著影响或改变。 “为了实现尽可能高的精度,除了逐步改进之外,还需要创新的方法,” Gaoliang Dai引用了当前的例子:“PTB开发的一种开创性方法,该方法使用晶体硅的原子距离(一种自然常数)作为一种新型纳米尺。“这个被称为'自下而上'的方法,现在已得到全球计量学界的公认和应用。国际计量局(BIPM)的长度咨询委员会(CCL)推荐它作为纳米测量的米二级实现方法。”Gaoliang Dai自豪地说。 新方法与已建立的纳米尺相结合,被作为最高精度的各种纳米校准标准。标准(英文:standard)是具有非常精确的已知尺寸的可比较对象。例如,我们有台阶高度、宽度、厚度或粗糙度的标准。从事工业生产的企业可以通过它们来检查和校准其测量器具。 在一个项目中,PTB对AMTC公司的EUV光刻掩模进行了可追溯和非破坏性的校准。为了双重验证测量结果,其中一个掩模还被用透射电子显微镜进行了额外检查。然而,不幸的是,这种额外检查会彻底破坏EUV光刻掩模。但为了验证最终的测量结果的准确性,这种损耗是必要的:“因为两种物理上完全不同的计量方法都提供了相同的结果,”Gaoliang Dai说,“只有这样才能准确可靠地测量结构,制造公司才能将他们的掩模作为黄金标准在工业生产中使用。黄金标准是工业生产中最高级别的标准。 PTB的专业计量技术也被纳入许多工业合作项目中。其中一项于2024年初推出,采用了一种全新的计量方法。在这个项目中,PTB正在与来自欧洲各地的研究和工业界的众多合作机构一起开发一种“绿色”光刻胶。它的原料生长在海里:来自甲壳类动物的甲壳素。如果对其进行特殊处理,它会像现在使用的化学物质一样对光敏感。该项目将再持续研究两年时间。“在那之后,我们也许能够将我们食用后的废弃物用于半导体光刻,” Gaoliang Dai说。初步研究结果显示这个目标非常有希望实现。这个名为RESIN GREEN的项目的成功对他来说是近在咫尺的事情:“我们当然有责任,”这位科学家解释说。“能够在这个行业使用环境友好型的替代原材料是一件非常重要的事情。”