英国半导体、微电子和先进技术领域的设备和材料经销商Inseto(UK)Ltd已向英国华威大学提供了一个PS4L探针系统,该系统由美国SemiProbe公司开发,用于改进碳化硅(SiC)功率半导体器件的制造工艺。PS4L提供了一种精确且可重复的方法,可将制造的原型设备(无论是管芯还是仍在晶圆上)与一个可以注入数千伏电压、测量数百安培的分析仪进行机械连接。
PS4L使Gammon的团队能够施加高达10000V的电压,并测量高达100A的电流,以确认其设备的性能和击穿电压。 Gammon说:“虽然我们正朝着IGBT和MOSFET开关的方向发展,但我们能够在二极管之类的简单结构上进行很多工作,以评估制造工艺的可重复性。PS4L是一种宝贵工具,因为它不仅可以处理来自分析仪的高功率,而且具有半自动化功能,从而使研究者能够从高度可重复的测试中收集大量数据。”
在提供和调试SemiProbe设备之后,Gammon的团队编写了一个软件界面,以使PS4L和高压参数分析仪可以一起工作。该设备已在沃里克大学中使用,该学校属于英国仅有的几所具有碳化硅制造能力的大学之一。此后,Gammon的团队能够从更大的测试批次中捕获数据,而这些数据以前是无法实现的。同样,通过自动处理收集的数据也更有信心,因为它消除了手动获取的数据的差异,例如探针到焊盘的对准不一致以及接触力的变化。