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Microsystems metrology and inspection : EURPTO series
出版社：Bellingham : SPIE, 1999.
ISBN：081943311X
出版年：1999
作者：Gorecki,C.
资源类型：图书
细分类型：西文文献
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  • 作者：Gorecki,Christophe,
  • ISBN：081943311X
  • 出版社：Bellingham, Wash. : SPIE, c1999.
  • 出版年：1999
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Microsystems engineering : metrology and inspection : 20-21 June 2001, Munich, Germany
  • 作者：Gorecki,Christophe.
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  • 出版社：Bellingham, Wash. : SPIE, c2001.
  • 出版年：2001
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Microsystems engineering : metrology and inspection III : 23-25 June, 2003, Munich, Germany
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  • 出版社：Bellingham, Wash. : SPIE, c2003.
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Optical inspection of microsystems
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Optical inspection of microsystems
  • 作者：Osten,Wolfgang.
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