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Microsystems metrology and inspection : 15-16 June 1999 Munich Germany
出版社：Bellingham, Wash. : SPIE, c1999.
ISBN：081943311X
出版年：1999
作者：Gorecki,Christophe,
资源类型：图书
细分类型：西文文献
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  • 出版社：Bellingham, Wash. : SPIE, 2009.
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  • 出版社：Bellingham, Wash. : SPIE, c1999.
  • 出版年：1999