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Microsystems engineering : metrology and inspection : 20-21 June 2001 Munich Germany
出版社：Bellingham, Wash. : SPIE, c2001.
ISBN：0819440957
出版年：2001
作者：Gorecki,Christophe.
资源类型：图书
细分类型：西文文献
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  • 出版社：Bellingham, Washington : SPIE, 2015.
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