相关推荐

MEMS谐振器的高真空封装研究

  • 作者:逯玉洁
  • 出版社:中国科学院半导体研究所
  • 出版年:2023

MEMS射频薄膜体声波谐振器(FBAR)研究

  • 作者:汤亮
  • 出版年:2009

氮化铝MEMS谐振器关键技术研究

  • 作者:杨健
  • 出版年:2015

共面垂直谐振式MEMS电场传感器晶圆级真空封装技术研究

  • 作者:高雅浩
  • 出版社:中国科学院空天信息创新研究院
  • 出版年:2024