相关推荐

掺钪氮化铝薄膜体声波谐振器技术研究

  • 作者:赵佳
  • 出版社:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
  • 出版年:2023

薄膜体声波谐振器横向结构优化与仿真

  • 作者:张玲玲
  • 出版年:2017

基于X切向铌酸锂单晶薄膜的高频声波谐振器研究

  • 作者:戴忠斌
  • 出版社:中国科学技术大学
  • 出版年:2024

射频MEMS谐振器的真空封装技术研究

  • 作者:赵继聪
  • 出版年:2017

单晶氮化铝压电薄膜生长及薄膜体声波谐振器研制

  • 作者:姜文铮
  • 出版社:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
  • 出版年:2023