登录
 机构网站
  1. 首页
  2. 馆藏纸本
  3. 图书详情
...

共面垂直谐振式MEMS电场传感器晶圆级真空封装技术研究
出版社：中国科学院空天信息创新研究院
出版年：2024
作者：高雅浩
资源类型：图书
细分类型：学位论文
1浏览量
 馆际互借
访问借阅管理系统
相关推荐
...

圆片级真空封装谐振式MEMS电场传感器研究
  • 作者：刘俊
  • 出版社：中国科学院空天信息创新研究院
  • 出版年：2022
...

谐振式MEMS压力传感器圆片级真空封装研究
  • 作者：曹明威
  • 出版年：2013
...

扭转谐振式公共面电极电场传感器研究
  • 作者：储昭志
  • 出版年：2018
...

谐振式MEMS压力传感器封装和仪表研究
  • 作者：张健
  • 出版年：2013
...

基于刚度扰动的MEMS谐振式电场传感器研究
  • 作者：刘向明
  • 出版社：中国科学院空天信息创新研究院
  • 出版年：2024
...

射频MEMS谐振器的真空封装技术研究
  • 作者：赵继聪
  • 出版年：2017