登录
 机构网站
  1. 首页
  2. 馆藏纸本
  3. 图书详情
...

圆片级真空封装谐振式MEMS电场传感器研究
出版社：中国科学院空天信息创新研究院
出版年：2022
作者：刘俊
资源类型：图书
细分类型：中文文献
1浏览量
 馆际互借
访问借阅管理系统
相关推荐
...

谐振式MEMS压力传感器圆片级真空封装研究
  • 作者：曹明威
  • 出版年：2013
...

共面垂直谐振式MEMS电场传感器晶圆级真空封装技术研究
  • 作者：高雅浩
  • 出版社：中国科学院空天信息创新研究院
  • 出版年：2024
...

谐振式MEMS压力传感器封装和仪表研究
  • 作者：张健
  • 出版年：2013
...

基于刚度扰动的MEMS谐振式电场传感器研究
  • 作者：刘向明
  • 出版社：中国科学院空天信息创新研究院
  • 出版年：2024
...

MEMS谐振式应变传感器研究
  • 作者：魏文杉
  • 出版年：2015
...

谐振式MEMS电场传感器宽频带电场检测方法研究
  • 作者：张洲威
  • 出版社：中国科学院空天信息创新研究院
  • 出版年：2023