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Electron-beam x-ray and Ion-beam submicromenter lithographies for manufacturing IV
出版社：Bellingham : SPIE, 1994.
ISBN：0819414891
出版年：1994
作者：Patterson,David O.,
资源类型：图书
细分类型：西文文献
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Electron-beam, x-ray and ion-beam techniques for submicrometer lithographies IV
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  • 作者：Blais,Phillip D.
  • ISBN：089252572X
  • 出版社：Bellingham, Wash., USA : SPIE--the International Society for Optical Engineering, c1985.
  • 出版年：1985