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2013 IEEE 26th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2013) : Taipei Ta
出版社：
Piscataway, N.J. : Institute of Electrical and Electronics Engineers, c2013.
ISBN：
9781467356541
出版年：
2013
作者：
IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems
资源类型：
图书
细分类型：
西文文献
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Piscataway, N.J. : IEEE, c2004.
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2004
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