相关推荐

新型高性能硅基MEMS谐振器的研究

  • 作者:刘文立
  • 出版社:中国科学院半导体研究所
  • 出版年:2024

射频MEMS谐振器的真空封装技术研究

  • 作者:赵继聪
  • 出版年:2017

MEMS谐振器的高真空封装研究

  • 作者:逯玉洁
  • 出版社:中国科学院半导体研究所
  • 出版年:2023

MEMS射频薄膜体声波谐振器(FBAR)研究

  • 作者:汤亮
  • 出版年:2009