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MEMS 2008 : 21st IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems : Janurary 13-17
出版社：
Piscataway, N.J. : Institute of Electrical and Electronics Engineers, c2008.
ISBN：
9781424417926
出版年：
2007
作者：
IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems
资源类型：
图书
细分类型：
西文文献
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出版社：
Piscataway, N.J. : IEEE, c2014.
出版年：
2014
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