登录
 机构网站
  1. 首页
  2. 馆藏纸本
  3. 图书详情
...

压电驱动互屏蔽电极MEMS电场传感器研究
出版社：中国科学院空天信息创新研究院
出版年：2022
作者：雷虎成
资源类型：图书
细分类型：学位论文
1浏览量
 馆际互借
访问借阅管理系统
相关推荐
...

MEMS电场传感器的设计与工艺研究
  • 作者：邓凯
  • 出版年：2005
...

压电驱动梁式微型电场传感器
  • 作者：冯可
  • 出版年：2014
...

MEMS三维电场传感器抗电荷干扰技术研究
  • 作者：张巍
  • 出版社：中国科学院空天信息创新研究院
  • 出版年：2024
...

单芯片MEMS三维电场传感器研究
  • 作者：彭思敏
  • 出版社：中国科学院空天信息创新研究院
  • 出版年：2024
...

低轴间耦合MEMS三维电场传感器研究
  • 作者：凌必赟
  • 出版社：中国科学院电子学研究所
  • 出版年：2019
...

圆片级真空封装谐振式MEMS电场传感器研究
  • 作者：刘俊
  • 出版社：中国科学院空天信息创新研究院
  • 出版年：2022