登录
 机构网站
  1. 首页
  2. 馆藏纸本
  3. 图书详情
...

MEMS电场传感器的设计与工艺研究
出版年：2005
作者：邓凯
资源类型：图书
细分类型：学位论文
2浏览量
 馆际互借
访问借阅管理系统
相关推荐
...

微型电场传感器释放工艺研究与性能测试
  • 作者：郭鑫
  • 出版年：2010
...

基于体硅工艺的谐振式MEMS差压传感器的研究
  • 作者：李亚东
  • 出版年：2021
...

单芯片MEMS三维电场传感器研究
  • 作者：彭思敏
  • 出版社：中国科学院空天信息创新研究院
  • 出版年：2024
...

MEMS三维电场传感器抗电荷干扰技术研究
  • 作者：张巍
  • 出版社：中国科学院空天信息创新研究院
  • 出版年：2024
...

低轴间耦合MEMS三维电场传感器研究
  • 作者：凌必赟
  • 出版社：中国科学院电子学研究所
  • 出版年：2019
...

压电驱动互屏蔽电极MEMS电场传感器研究
  • 作者：雷虎成
  • 出版社：中国科学院空天信息创新研究院
  • 出版年：2022