作为Prismo金属有机化学气相沉积（MOCVD）产品组合的最新成员，许多基于氮化镓（GaN）的LED制造商已经在使用Prismo金属有机化学气相沉积（MOCVD）产品，总部位于上海的先进微制造设备有限公司（AMEC）推出了Prismo UniMax，该产品专为高性能微型LED生产而设计。
随着基于LED的电视、平板电脑、笔记本电脑、显示器、智能手机、汽车显示器等应用需求的不断增长，mini-LED作为一种新兴技术越来越受欢迎，它可以通过提供卓越的亮度、精确的动态响应和出色的对比度来显著提高显示质量。因此，UniMax系统的设计有助于解决小型LED生产中的挑战。
图1 AMEC的新Prismo UniMax MOCVD系统
新系统最多可容纳四个可独立控制的反应器。凭借其局部温度可调加热系统，UniMax可以为微型LED生产提供号称卓越的波长均匀性、可重复性和可靠性。其他新颖的功能包括一个优化的淋浴头，以获得更好的均匀性和生产稳定性，以及一个大尺寸的接收器，可以显著提高生产吞吐量和降低拥有成本（CoO）。该系统为高吞吐量而设计，通过改变接收器配置，系统的高晶圆容量可扩展到164个4英寸或72个6英寸晶圆。
AMEC说，它已经收到了来自中国主要客户的系统订单，而更多的客户演示正在进行中。UniMax系统的核心技术源自AMEC久经考验的Prismo平台，为高性能小型LED生产提供了一个经济高效的解决方案。Prismo UniMax已被中国领先的LED客户使用。这些工具不仅可以满足严格的技术要求，还可以以更低的拥有成本实现更高的生产率MOCVD的新崛起市场比预期来得更早。未来期待着与客户和合作伙伴合作，进一步加快发展微型LED技术和MOCVD市场。
