中微半导体设备（上海）股份有限公司（AMEC）首次推出了其Prismo HiT3金属有机化学气相沉积（MOCVD）设备，该设备旨在批量生产深紫外发光二极管（DUV LED）。
该设备是AMEC Prismo MOCVD系列的最新产品，该产品已用于生产蓝色LED。Prismo HiT3反应器腔室温度最高可达1400°C，能够生长氮化铝（AlN）和高铝成分材料，具有优异的工艺重复性、均匀性和低缺陷率。该设备专为实现高产量而设计，每次运行可处理多达18个2英寸外延晶片，并且可扩展至4英寸晶片。
早期的客户包括内领先的深紫外 LED 制造商马鞍山杰生半导体有限公司，主要生产家用DUV LED、医疗仪器和用于科学研究的产品。
深紫外灯用来消毒已经有数十年的历史，通过破坏细菌和病毒的DNA使其丧失生殖能力而发挥作用。 SARS、MERS和COVID-19等病原体的出现增加了DUV LED产品的需求，这些产品能够消灭这些新微生物，现有用于此的最新技术是DUV LED，其发射波长为260-280nm。
AMEC表示Prismo HiT3具有新颖的腔室设计，在高温环境下生长高质量氮化铝工艺。自动真空传输系统可防止产生颗粒并保持低缺陷。该过程是自动化的，与最近的同类竞争工具相比，它提供了更长的平均维护时间（MTBM），从而进一步延长了正常运行时间和生产能力。
中微公司表示，Prismo HiT3系统包含了公司久经考验的Prismo平台的所有创新功能，现在具有针对基于AlN的DUV LED应用的新型超高温处理能力。AMEC的Prismo HiT3系统可以满足DUV LED的大批量、低成本的生产要求。
