德国沉积设备制造商Aixtron SE表示,其新的SiC平台AIX G5 WW C已通过纯碳化硅(SiC)外延晶圆代工厂EpiWorld International Co Ltd的资格认证,可在中国厦门的新生产区大批量生产SiC外延产品。piWorld是一家私营的中日美合资企业。气相外延(VPE)工具是Aixtron最新的8x150mm SiC行星反应器平台。
EpiWorld的目的是进一步扩大其生产能力,以满足客户不断增长的需求。该公司已经完成了用于制造650V、1200V和1700V功率器件的4英寸和6英寸SiC外延晶片生产线。新近建成的制造中心为6英寸外延晶片生产提供了空间,每年产量可以扩展至40万个,EpiWorld目前的年产能超过6万个。
EpiWorld总经理Gan Feng博士说:“近年来,汽车领域的众多参与者评价EpiWorld为功率器件SiC外延片的领先供应商,这说明我们在最具挑战性的行业之中拥有强大的地位。我们依靠Aixtron成熟的系统技术,并准备通过AIX G5 WW C系统进行SiC外延组件的大批量生产。”
Aixtron的AIX G5 WW C系统中的SiC Epi反应器具有单晶片系统的性能优势又有多晶片反应器的成本优势,该系统能以最低的生产成本保证EpiWorld的最高生产量,同时实现了优良的生产质量。
Aixtron电力电子市场副总裁Frank Wischmeyer博士说:“我们很高兴与EpiWorld合作,借助新型SiC平台提高产量,以加速碳化硅的进一步商业化。我们相信EpiWorld能够很好地满足中国汽车行业及其他地区对SiC功率器件快速增长的市场需求。 EpiWorld扩大的产量将有助有电动汽车、可再生能源等众多高端电力电子应用的发展。”