澳大利亚的BluGlass Ltd已获得先进制造增长中心（AMGC）的25万澳元资助款，为其公司的300系列远程等离子体化学气相沉积（RPCVD）制造平台制造更高效的等离子体沉积源。
该项目旨在设计和生产高密度的大型等离子体源，以产生超高精度、高均匀性，沉积高价值的半导体器件，例如激光二极管和下一代LED。独特的分布式等离子源设计旨在提供一个可扩展的统一平台，适用于最大的工业系统的改造，可容纳多个直径为8英寸的晶片。该赠款项目将专门针对BLG-300系统的新等离子体源，以提升其在单个12英寸晶圆或多个4英寸晶圆上均匀沉积的能力。4英寸晶圆尺寸对于该公司的激光二极管产品路线图至关重要。
AMGC董事总经理Jens Goennemann博士评论表示， BluGlass的技术有望使激光二极管具有更高的性能和效率。这是一项改变游戏规则的开发，可以向市场提供价值更高的产品。
BluGlass与多行业合作伙伴和组织合作，例如激光二极管器件封装和测试的AKELA Laser以及金属3D设计和关键等离子源组件的快速原型制作的Objective 3D等，以促进该项目的成功。
该项目有望提高澳大利亚的先进制造能力，并有助于促进BluGlass的直接投放市场的激光二极管业务的收入增长。
BluGlass的首席技术官Ian Mann博士说：“该项目使RPCVD具有许多新的商业竞争优势。新设计可以在几乎任何行业的MOCVD平台上支持可扩展性，并能够在单个沉积室中实现混合（MOCVD和RPCVD生长）。”
