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《BluGlass与Aixtron合作，将RPCVD扩展到大规模生产》

  • 来源专题：集成电路
  • 编译者： Lightfeng
  • 发布时间：2019-01-06

  • BluGlass选择了Aixtron的AIX 2800G4-HT系统，将其用于扩展RPCVD批量生产的能力。 Aixtron行星式反应堆的半导体薄膜均匀性归因于其在沉积过程中专有的双轴晶圆旋转。

    BluGlass的RPCVD技术可实现III-V氮化物材料的低温沉积，从而有可能提高器件的性能。 将在悉尼的Silverwater工厂进行RPCVD到AIX 2800G4-HT上的首次集成。

    BluGlass的总经理Giles Bourne评论道：“我们非常高兴得到Aixtron对我们技术的这一重大扩展项目的支持，这是RPCVD在大规模制造中的商业可行性的重要一步”。

    Aixtron Group的创新专员Ken Teo博士说：“在Aixtron，我们一直在努力将新技术引入我们的平台，以便为我们的客户提供先进的功能，我们希望探索RPCVD技术在氮化物层低温沉积方面的潜力，这可能为光电或电子设备开辟新的可能性，我们期待与BluGlass合作整合RPCVD并评估技术”。

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    • 编译者：Lightfeng
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    • 美国MACOM Technology Solutions Inc公司(MACOM)和GlobalFoundries公司（GF）宣布了一项战略合作，此次合作将利用GF的90WG现代硅光子产品来升级MACOM的激光光子集成电路（L-PIC）平台，以满足数据中心和5G电信行业的需求。主要通过GF的300mm硅制造工艺来提供必要的成本、规模和容量，有望为超大规模数据中心互连和100G、400G及以上的5G网络部署实现主流L-PIC部署。 90WG采用GF的90nm SOI技术，采用300mm晶圆处理，可将光学器件(如调制器、多路复用器和检测器)以低成本集成到单个硅衬底中。据称，MACOM的L-PIC技术攻克了将激光器与硅PIC对齐技术的最后关卡。利用MACOM获得专利的蚀刻刻面技术(EFT)激光器和获得专利的自对准EFT (SAEFTTM)工艺，MACOM的激光器可以高速和高耦合效率直接对准并连接硅光子芯片，从而加速在真正的工业规模应用中采用硅光子。 该行业正在进入云数据中心及5G光学构建中的高速光学连接的漫长升级周期。预测在2019年、2020年及以后会是粗波分复用（CWDM）和PAM-4的快速增长年，2019年整体需量将达到1000万单位。MACOM将与GF合作扩大L-PIC生产，旨在满足不断增长的市场需求。GF首席执行官Tom Caulfield说：“凭借我们深厚的制造专业知识，结合MACOM强大的技术，我们可以大规模提供差异化的硅光子解决方案，加快产品上市时间，并降低数据中心和新一代5G光学网络中客户端应用的成本。”
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  • 《AMGC将资助BluGlass开发大规模等离子体沉积源》
    • 来源专题：集成电路
    • 编译者：Lightfeng
    • 发布时间：2020-07-12
    • 澳大利亚的BluGlass Ltd已获得先进制造增长中心（AMGC）的25万澳元资助款，为其公司的300系列远程等离子体化学气相沉积（RPCVD）制造平台制造更高效的等离子体沉积源。 该项目旨在设计和生产高密度的大型等离子体源，以产生超高精度、高均匀性，沉积高价值的半导体器件，例如激光二极管和下一代LED。独特的分布式等离子源设计旨在提供一个可扩展的统一平台，适用于最大的工业系统的改造，可容纳多个直径为8英寸的晶片。该赠款项目将专门针对BLG-300系统的新等离子体源，以提升其在单个12英寸晶圆或多个4英寸晶圆上均匀沉积的能力。4英寸晶圆尺寸对于该公司的激光二极管产品路线图至关重要。 AMGC董事总经理Jens Goennemann博士评论表示， BluGlass的技术有望使激光二极管具有更高的性能和效率。这是一项改变游戏规则的开发，可以向市场提供价值更高的产品。 BluGlass与多行业合作伙伴和组织合作，例如激光二极管器件封装和测试的AKELA Laser以及金属3D设计和关键等离子源组件的快速原型制作的Objective 3D等，以促进该项目的成功。 该项目有望提高澳大利亚的先进制造能力，并有助于促进BluGlass的直接投放市场的激光二极管业务的收入增长。 BluGlass的首席技术官Ian Mann博士说：“该项目使RPCVD具有许多新的商业竞争优势。新设计可以在几乎任何行业的MOCVD平台上支持可扩展性，并能够在单个沉积室中实现混合（MOCVD和RPCVD生长）。”
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