欧盟“石墨烯旗舰计划(Graphene Flagship)”是欧洲有史以来最大的多方合作研究计划,旨在塑造石墨烯技术的未来。2020年10月7日,欧盟“石墨烯旗舰计划”宣布投资2000万欧元建立首条欧洲2D中试生产线(2D-EPL),为基于石墨烯的电子、光电子和传感器创建一条实验性试验生产线。这是第一家实验性制造设施,为欧洲公司、研究中心和学术机构在中试规模生产基于二维材料的新型器件。
石墨烯和相关的层状材料已经准备好进入市场,在电子和光电子学应用的实验室里逐渐成熟。为了使欧洲一直处于这场技术革命的前沿,扩大制造规模是电子元件进步的关键一步。2D中试生产线(2D-EPL)将是欧洲第一家将石墨烯和层状材料集成到半导体平台上的石墨烯铸造厂,演示如何制造和扩大基于二维材料的设备的生产以满足市场应用。
石墨烯旗舰计划提议成立一个由覆盖整个价值链的欧洲主要参与者组成的财团,包括工具制造商、化学和材料供应商以及半导体制造线:Aixtron and Oxford Instruments(英国)、imec(比利时)、AMO、iHP、Micro Resist Technology、Aixtron和Suss Microtech(德国)、Graphenea(西班牙)和VTT(芬兰)。
新的2D-EPL诞生于由欧盟资助的石墨烯旗舰项目开创的创新生态系统中,将覆盖从工具生产商、化学和材料供应商到制造线的整个价值链。这一合作项目将整合几个石墨烯旗舰成员,开创制造新的集成石墨烯和层状材料的电子、光子器件和传感器原型。2D-EPL将为公司、研究中心和学者提供全面的原型服务,以便他们能够开发和测试基于2D材料的创新技术。
2D中试线的相关工艺流程将在欧洲最先进的洁净室环境中完成,涉及AMO、iHP、imec和VTT等企业,相关工艺计划在2024年前全面完成,这将极大加速石墨烯光电器件在传统制造业的应用进程。
此外,该项目由一个工业咨询委员会指导,该委员会由欧洲半导体行业的主要参与者组成,如X-FAB、Infineon和Emberion。董事会将随时了解2D-EPL项目的进展情况和制定的解决方案,还将提供关于行业要求和规范、市场分析和项目早期机会的反馈。