《IGaN和SilTerra演示D-MISHEMT在铸造CMOS工艺中使用200mm GaN-on-Si晶圆》

  • 来源专题:集成电路
  • 编译者: Lightfeng
  • 发布时间:2018-12-08
  • 新加坡的IGSS GaN Pte Ltd(IGaN)公司和马来西亚SilTerra.Sdn Bhd宣布了他们最近技术转让合作伙伴关系的结果,证明了在CMOS兼容的制造工艺中,使用200mm GaN-on-Si晶圆的D模式MISHEMT器件的电压为650V。独家合作的成果是建立和转移了无金金属化和CMOS兼容的200mm GaN-on-Si金属-绝缘体-半导体高电子迁移率晶体管(MISHEMT)制造工艺。

    GaN器件用于高功率密度无线功率传输,支持更高的服务器功率,并且氮化镓技术可以释放无线充电应用的潜力,远远超出手机和笔记本电脑等低功耗应用。

    IGaN董事长兼首席执行官Raj Kumar表示:“IGaN提供100-200mm GaN-on-Si外延片和200mm CMOS友好型GaN制造工艺,IGaN和SilTerra共同提供加速器,以促进纯硅和基于化合物的技术转换为GaN-on-Si。与SilTerra的新合作伙伴关系使我们能够在2019年初大规模生产这种强大的新技术。”

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    • 来源专题:集成电路
    • 编译者:Lightfeng
    • 发布时间:2020-12-06
    • 总部位于新加坡的IGSS GaN Pte Ltd(IGaN)公司以及韩国的A-PRO Semicon Co Ltd举行了项目启动会议,合作生产650V E模GaN功率晶体管。IGaN公司一直专注于生产开发GaN-on-Si / SiC外延晶片和8英寸GaN制造技术的商业化,主要用于电源、频射和传感器应用。A-PRO是A-PRO Co Ltd半导体业务的子公司,该公司主要生产用于功率/ RF电子应用的GaN器件。 在此之前,IGaN投资7300万美元在新加坡建立了GaN Epi中心,从而使合作伙伴可以获得GaN Epi批量生产方面的经验和8英寸(200mm)GaN制造技术的专业知识。 IGaN的首席执行官Raj Kumar说:“通过将IGaN的批量生产成本效益和GaN生产制造中的缺陷控制解决方案与A-PRO Semicon在功率转换和电池管理市场中的现有功能相结合,创造新的协同效应,IGaN旨在推动技术创新和GaN在功率/ RF中的广泛应用,并且可以利用A-PRO Semicon生态系统中的设备和模块/系统。” A-PRO Semicon的技术人员说道:“通过此项激动人心的合作,A-PRO将利用IGaN专有技术来加快E型GaN器件的生产,走上加强8英寸商业化战略的道路。在扩展公司产品组合的同时,A-PRO Semicon可以更好地服务于现有的客户群,其中包括许多领先的科技品牌,并且实现全球性的可持续扩展。” 该合作伙伴关系旨在开拓功率GaN市场,到2025年,市场预计将超过7亿美元。市场研究公司YoleDéveloppement在其《2020年第一季度复合半导体季度市场监测报告》中称2020年为“ GaN年”,特别是在消费快充市场上的兴起。 GaN在功率和射频市场逐渐取代功率电子器件中的硅,因为它的宽带隙功能可以实现更高效的功率转换,因此可以承受更高的电压并允许更快的电流流过器件。此外,IGaN表示,设备工程师可以在相似的电压应用中使用GaN,同时保持较小的占位面积。 http://www.semiconductor-today.com/news_items/2020/nov/igan-apro-301120.shtml
  • 《ALLOS用于微型LED的200mm硅基GaN晶圆片具有波长均匀性和可重复性》

    • 来源专题:集成电路
    • 编译者:Lightfeng
    • 发布时间:2020-04-05
    • 为了解决晶圆尺寸不匹配的问题,并应对微型LED产量的挑战,德国Micro LED技术厂商ALLOS 应用了其独特的应变工程技术,显示了200mm硅基GaN晶圆片卓越的均匀性和可重复性,该公司还报告了300mm晶圆的成功路线图。 良率是Micro LED显示器的成功的关键,并且会直接影响生产的复杂性和成本。对于Micro LED应用而言需采用大晶片来降低成本,Micro LED需要整合CMOS生产线的芯片与 LED晶圆片整合。与蓝宝石基氮化镓获得的更小直径相比,匹配的芯片直径还能促进其作用。ALLOS 团队采用其独有的应变工程技术来进一步提高波长一致性,并于2019 年2月展示了200mm的GaN-on-Si LED晶圆片,标准差(TDEV))仅为0.6nm。 ALLOS 的最新研究结果显示,该技术现具有出色的可复制性,200mm的波长一致性始终低于1nm STDEV。ALLOS还满足了其他生产要求,例如弓小于40μm,SEMI 标准厚度为725μm。这些参数在将 CMOS 芯片粘合到 LED 外延片时非常重要。 ALLOS 证实,其技术已在此新反应器上成功扩展300mm。特别是,ALLOS独有的应变工程技术和出众的晶体质量如预期的一样适用于300mm。ALLOS指出,晶圆从直径100毫米进行放大,对微型LED的业务影响比在LED行业的其他部门更大。使用较大直径除了能够降低单位面积成本,用于Micro LED 生产的200mm 和300mm GaN-on-Si 晶圆片还能比传统LED生产线的成本更低和生产精度更高的CMOS设施。之所以会产生进一步的效果,是因为大多数micro-LED制造方式都使用大面积传输戳记的传质技术或单片集成显示器。