《英国公司获得资金推出300mm晶圆工具》

• 来源专题：宽带移动通信
• 编译者： 张卓然
• 发布时间：2022-10-25
• 原文来源：https://www.eenewseurope.com/en/uk-firm-secures-funds-to-roll-out-300mm-wafer-tool/

英国牛津的Infinitesima公司已通过一项战略协议筹集资金，提高其Metron3D 300 mm在线晶圆计量系统的产量，在今年晚些时候可以向客户发货。

韩国基金Wonik 投资合作伙伴的投资规模尚未披露，但表明三星半导体（Samsung Semiconductor）等韩国公司可能是客户。该基金是Wonik的子公司，Wonik经营着广泛的业务，包括向几家三星公司提供半导体材料和设备。

Wonik投资合作伙伴总裁Dong Su Kim表示：“我们认识到Infinitesima的巨大增长机会，凭借其独特的3D计量技术和经验丰富的团队，可以满足下一代半导体工艺控制挑战性日益增长的要求。”

Metron3D计量系统实现了下一代半导体前沿晶圆制造厂的在线三维工艺控制。它使用了公司的快速探针显微镜（RPM）技术以及领先行业供应商的模块，以实现最高的性能和可靠性。 这项技术由布里斯托尔大学推出，将用于三维表面检测的原子力显微镜（AFM）与高速激光干涉测量相结合。