《氮化镓应变中的高载流子密度二维空穴气》

  • 来源专题:集成电路
  • 编译者: Lightfeng
  • 发布时间:2019-10-27
  • 美国康奈尔大学报道了氮化镓(GaN)中的高电导率二维空穴气(2DHG),可使用n和p沟道晶体管的节能互补组合来实现高压电路。

    将p型晶体管与更常规和已开发的n型器件结合使用,可能会给使用更复杂电路的大功率开关带来一系列机遇,如5G蜂窝技术和节能电子产品。但是在宽带隙半导体中同时实现n型和p型非常困难。

    当在氮化镓上生长氮化铝镓(AlGaN)时,康奈尔(Cornell)的2DHG利用常见的2D电子气(2DEG)类似的原理。此类2DEG是为无线网络功率放大器,功率开关和其他应用开发的高频,高功率和/或高压n沟道晶体管的基础。

    2DEG是由于III型氮化物晶格结构的反转对称性破裂而形成的。对于AlGaN / GaN,电荷会在附近(主要在GaN缓冲器中)感应出2DEG。针对其2DHG,康奈尔在厚的松弛AlN缓冲层上假晶型生长GaN的薄应变层。预期在AlN上的应变GaN上电荷极化的对比度会产生5x1013 / cm2量级的负界面电荷,从而在附近产生补偿2DHG。材料之间的价带偏移应推动2DHG主要位于应变GaN层中。

    实验中发现未掺杂的异质结构样品A(13nm / 400nm GaN / AlN)的迁移率在10K时并未饱和,研究人员建议可以达到200cm2 / V-s的值。

    研究小组报告:这项工作中测得样品A的2DHG密度约为5x1013 / cm2,接近预期的极化差,并且远高于先前报道的氮化物半导体中的2DHG密度。同时,与窄带隙半导体相比,III族氮化物的“轻”和“重”空穴倾向于具有更高的有效质量,从而降低了迁移率。较大的带隙意味着可以通过栅极通过场效应有效地调制高2D空穴气体密度,因为半导体本质上能够承受更大的电场。基于极化的掺杂效应还有另一个优势,与更常见的镁掺杂p-GaN中掺杂剂浓度的波动相比,其均匀性低至原子级。

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